2018 年臺大傑出校友 - 林本堅

林本堅院士，1963年臺灣大學電機系畢業，1970年取得美國俄亥俄州立大學博士學位。任職IBM華生實驗室22年，帶領研發團隊創造許多世界第一的技術。其研發的「深紫外線」為世界最短波長光線，問世近40年，至今仍為許多半導體廠採用。2000年加入台積電，於2002年研發出193奈米浸潤式微影技術，不僅將半導體產業從乾式微影技術扭轉為以水為介質的浸潤式微影技術，也讓半導體的摩爾定律突破了55奈米製程的瓶頸，對全球半導體產業貢獻卓著。