Измерение удельного сопротивления методом четырех зондов — Университет Амрита

▶ Этот видеоканал создан проектом CREATE Университета Амрита http://www.amrita.edu/create ▶ Подписывайтесь @    / amritacreate      / amritavlab   ▶ Ставьте лайк @   / createatamrita   ▶ Дополнительная информация @ http://vlab.amrita.edu/index.php?sub=... ▶ Веб-сайт проекта виртуальной лаборатории Амрита http://vlab.amrita.edu Удельное сопротивление и тип проводимости являются фундаментальными свойствами полупроводников и критически важными параметрами как в исследованиях материалов, так и в производстве кремниевых пластин. Удельное сопротивление может влиять на последовательное сопротивление устройства, пороговое напряжение, емкость и другие параметры. Измерение удельного сопротивления полупроводникового материала — один из наиболее распространенных методов электрических измерений. Для определения как удельного сопротивления, так и типа проводимости можно использовать четырехточечный коллинеарный зонд и соответствующее измерительное оборудование. Четырехточечный, или метод Кельвина, зонда — наиболее распространенный способ измерения удельного сопротивления полупроводникового материала. Два зонда используются для подачи тока, а два других — для измерения напряжения. Использование четырех зондов исключает ошибки измерения, связанные с сопротивлением зонда, сопротивлением распространения под каждым зондом и контактным сопротивлением между каждым металлическим зондом и полупроводниковым материалом. Этот метод предполагает приведение четырех равномерно расположенных зондов в контакт с материалом с неизвестным сопротивлением.