Причины выхода из строя эластомерных уплотнительных колец — газовыделение

Эластомерные уплотнительные кольца являются одним из основных источников неконтролируемого выделения газов в герметичной вакуумной системе. В этом коротком анимационном ролике вы узнаете, что такое выделение газов и как его избежать в ваших полупроводниковых приложениях.