[ISO 인증 길잡이 #38강] 반도체 8대 공정 - 식각공정(Etching) - 반도체 공정의 꽃 & 완벽한 수직 조각의 과학 예술ㅣEtchㅣ
ISO 인증 길잡이
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[ISO 인증 길잡이 #38강] 반도체 8대 공정 - 식각공정(Etching) - 반도체 공정의 꽃 & 완벽한 수직 조각의 과학 예술ㅣEtchㅣ
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반도체 8대 공정의 꽃, 식각(Etch) 공정을 길잡이 합니다.
식각은 포토 공정에서 그린 2차원 패턴을 3차원의 미세한 입체 구조로 깎아내는 조각 예술입니다.
본 영상에서는 미세 패턴 구현을 위한 건식 식각(Dry Etch)과 플라즈마 RIE 기술의 원리와 완벽한 회로를 보장하는 선택비, 방향성(Anisotropy), 균일도 등의 핵심 품질 지표 및 미식각(Unetch), 과도한 식각(Overetch)의 개념까지 담아 보았습니다.
여러분들의 업무에 도움이 되기를 희망합니다.
ISO 인증 준비 및 인증(전환)심사, 전문컨설팅, 개선활동, 유지관리 전문기업!
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