一粒灰尘能毁掉一大片连接:混合键合难在哪
辞月赴尘
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一粒灰尘能毁掉一大片连接:混合键合难在哪
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辞月赴尘
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“流程很简单,可实际做起来,非常难。”混合键合的原理只有两步,难在每一步都要在纳米尺度上做到。这期讲五个工程问题:一粒灰尘为什么能撑开一大片空洞;对准要准到 100 纳米,芯片对晶圆和晶圆对晶圆各难在哪;铜焊盘那几纳米的凹陷窗口;退火温度的上限;为什么键合前测不了、键合后修不了。再看散热怎么让 9800X3D 把缓存挪到了下面,混合键合今天用在了哪里,HBM 为什么还没用上,以及谁在造键合机。混合键合(下)。
Chinese narration with captions burned in: hybrid bonding, part 2. Particles and voids, 100 nm alignment, the few-nanometre copper recess window, thermal budget, test and repair, why the 9800X3D moved its cache below the cores, and where hybrid bonding is used today, including HBM.
#混合键合 #HBM #先进封装 #芯片