Обзор поверхностной микрообработки

Это обзор процессов поверхностной микрообработки, используемых для изготовления микроскопических устройств, таких как консоли, шестерни, акселерометры, цифровые зеркала и переключатели. Данная презентация подготовлена ​​Юго-западным центром образования в области микросистем (SCME). Вспомогательные материалы можно загрузить с веб-сайта SCME (http://scme-nm.org).