半導体⑦|露光工程から後工程まで|永井みつるの企ギョズム展
永井みつるのキギョズム研究室 (企ギョズム)
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半導体⑦|露光工程から後工程まで|永井みつるの企ギョズム展
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永井みつるのキギョズム研究室 (企ギョズム)
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半導体製造工程で重要な2つ工程
1.露光工程
露光はカメラの専門用語で、フィルムに光を当てることをいいます。
半導体の露光工程もこれと同じで、ウェハーに回路パターンの光を当てることをいいます。
この露光工程でどこまで線を補足できるかが重要で、それを決めるのが露光装置。
露光装置の良し悪しが半導体の性能を決めるといっても過言ではない。
光源の設備を露光装置という
・LED:380~430nm
・i線(水銀):365nm
・エキシマレーザー
KrFを使ったやつ:248nm
ArFを使ったやつ:193nm
ArF液浸:38nm
・EUV(極端紫外線):13.5nm ← 最新
EUV露光装置の原理
1.真空中で霧状にしたスズを
約時速320キロで噴射
2.スズにレーザーを2回当てる。
1回目で高温にして、2回目で爆発させる
3.すると22万℃っていう途方もない温度によなり、プラズマが発生。
4.これを1秒間に5万回繰返すことでEUVがで作れる。
5.その光を制御して、EUV露光装置が完成
最新の半導体をつくるためにはこのEUV露光装置が必要。1台200億円以上で注文が殺到している!(1社で何十台も買う)
2.洗浄工程(クリーンにする)
半導体は非常に繊細な製品です。
例えば、露光前にウェハーの上にちょっとしたホコリがあるだけで回路がうまくできない。
ウイルスレベルの大きさでもNG、人からでるナトリウムもNGとめちゃめちゃシビア。
なので、各工程の前に徹底的に洗浄を行う。
化学薬品やフッ化水素、超純水などあらゆるものを使ってめちゃめちゃ洗う。洗浄がちゃんとできることが半導体正常には大事
■回路づくりが終わったら
■電極を付ける
エッチングで穴をあけて、電極を指す
■できた半導体を検査する
最後に全半導体をチェック
(大体数百個ある。)
■後工程(OSAT)
やることは3つ
1.円盤を四角い半導体に分ける
2.半導体とチップの線をくっつける
3.全体を樹脂で覆い保護する
■カットする(ダイシング)
カット方法2種類
・刃物を使う
・レーザーでカットする
■半導体とチップのをくっつける(ボンディング)
半導体だけだと使いづらいので、チップにするため
配線を作る。
■全体を樹脂で覆い保護する(モールド)
半導体は割れやすく、ゴミの付着でショートするため、全体を硬い絶縁樹脂で覆い保護。
最後に検査をして、メーカーに納品
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工程数:多いとで1000工程以上ある
完成まで:2ヶ月〜6ヶ月程度かかる。
これら半導体の工程に関係している企業は
市場規模と比べるとめちゃめちゃ少ない!
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参考にしたもの
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■NHK|電子立国日本の自叙伝
https://www2.nhk.or.jp/archives/movie...
■サイト|Semiジャーナル
https://semi-journal.jp/
■ニュース|東洋経済
https://toyokeizai.net/
■ニュース|日経新聞
https://www.nikkei.com/
■ニュース|NewsPicks
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