デバイスの欠陥検出画像の高画質化と300mmウェーハの一括検査に貢献する超音波映像装置「FineSAT7」

近年、半導体デバイスや電子部品などの微細化が進むなか、これまで以上に高い精度の品質検査、特に欠陥検出画像の高画質化や作業効率・生産性向上が求められています。日立パワーソリューションズは、半導体デバイス・電子部品内部の微細な構造や欠陥を超音波の反射・透過特性を利用して非破壊で検出・画像化する装置としてFineSATシリーズを、国内外に累計約2,800台*販売するなど、豊富な実績を有しています。本ムービーでは、デバイス内面に発生する剥離・ボイドなどの欠陥画像高画質化と直径300mm (12インチ)ウェーハの一括検査を可能にした超音波映像装置の最新機種「FineSAT7」をご紹介します。 *2026年7月現在