Электронно-лучевая литография в DTU Nanolab
DTU Nanolab
0:00 / 0:00
Электронно-лучевая литография в DTU Nanolab
6 639 просмотров · 4 года назад
DTU Nanolab
2,12 тыс. подписчиков
6 639 просмотров · 4 года назад
В лаборатории DTU Nanolab установлена система электронно-лучевой литографии JEOL 9500FS, позволяющая создавать структуры с латеральным разрешением до 10 нанометров. В этом видео вы можете увидеть общий рабочий процесс электронно-лучевой литографии в нашей лаборатории.
